2026000386VGV OFFEN

Elektronenstrahllithografie

Ausschreibende Stelle
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Leistungsort
Erlangen, Kreisfreie Stadt
Angebotsfrist
23. November 2026, 22:59 in 29 Tagen
Leistung
CPV 38511100
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Projektbeschreibung

Gegenstand der Beschaffung ist ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM).

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Lose

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Los Leistung Ausführung
LOT-0001 Elektronenstrahllithografie Gegenstand der Beschaffung ist ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM). —

Vergabeunterlagen

Verfahren

Verfahrensart
VGV
Veröffentlicht
20. Oktober 2026
Fragefrist
13. November 2026
Angebotsfrist
23. November 2026, 22:59

Vergabestelle

Stelle
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Kontakt
AQUT-info@fau.de
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