22.4-0242/062-26 GGVGV OFFEN

Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage

Ausschreibende Stelle
Technische Universität Braunschweig - Abteilung 22 - Vergaberecht und Beschaffung - Zentrale Vergabestelle
Leistungsort
Braunschweig, Kreisfreie Stadt
Angebotsfrist
29. Oktober 2026, 09:00 in 3 Tagen
Leistung
CPV 31712000
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Beschafft wird die Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage aus dem Baujahr 2007 am Institut für Halbleitertechnik der Technischen Universität Braunschweig.

Die Leistung umfasst ein Upgrade der Steuerungssoftware und SPS inklusive eines Embedded Industrial PC mit Windows 11, Fieldbus-I/O-Modulen über EtherCAT und DeviceNet sowie Schnittstellen für analoge und digitale Geräte.

Weiterhin sind eine Aufrüstung für zwei Hochtemperatur-Metallorganik-Quellenliefersysteme und eine Durchfluss-Flanschmodifikation für neue Rohrleitungs- und Heizanforderungen vorgesehen.

Wesentliche technische Anforderungen sind eine lebenslange Softwarelizenz für bis zu drei PCs, ein Verschlüsselungs-Dongle, Schaltzeiten zwischen 1 und 3 ms, ein Pyrometer-Regelkreis mit 3-Zonen-Regelung und die Möglichkeit zum automatischen Import bestehender EpiView-Rezepte.

Quelle: 062-26 GG_B_Leistungsbeschreibung Aufrüstung K300 V4.pdf , Seite 1–2 Dieser Text wurde maschinell aus den Vergabeunterlagen erstellt. Er kann Fehler enthalten und ist nicht Teil der offiziellen Ausschreibung — maßgeblich sind allein die Vergabeunterlagen.

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Energie & Versorgung Braunschweig, Kreisfreie Stadt Öffentliche Auftraggeber

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Lose

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Los Leistung Ausführung
LOT-0001 Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage —

Vergabeunterlagen

Verfahren

Verfahrensart
VGV
Veröffentlicht
22. September 2026
Fragefrist
22. Oktober 2026
Angebotsfrist
29. Oktober 2026, 09:00

Vergabestelle

Stelle
Technische Universität Braunschweig - Abteilung 22 - Vergaberecht und Beschaffung - Zentrale Vergabestelle
Kontakt
abt22@tu-braunschweig.de
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