Laser-Lithography-System for 2D and 2.5D structuring
Projektbeschreibung
Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme eines Laserlithographiesystems, das am Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) am KIT in 76344 Eggenstein-Leopoldshafen angesiedelt werden soll.
Lose
1 LosDas zu beschaffende System ist für die Herstellung von 2D- und 2,5-dimensionalen Mikrostrukturen vorgesehen. Diese Strukturen müssen ohne Maske auf Substrate belichtet werden, die mit photochemisch empfindlichen Resistenzen beschichtet sind. Aufgrund des Einsatzes in Forschung und Entwicklung muss das System ein hohes Maß an Flexibilität in Bezug auf die freie Parameterwahl sowie Kompatibilität mit einer Vielzahl von Substraten bieten. Deshalb soll ein Laser-Lithography-System for 2D and 2.5D structuring für das am Institut für Mikrostrukturtechnik am KIT - Campus Nord (Building 301 - Room 142) beschafft werden gemäß der beigefügten technischen Spezifikation (Anlage 01).
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Vergabeunterlagen
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OCDS Standard Konform Technische Kapazität
- ISO 27001 ZertifizierungPFLICHT
Nachweis eines zertifizierten ISMS für den gesamten Projektzeitraum.
Nachweis erforderlich - Projektteam (Deutsch C1)PFLICHT
Sämtliche Kernmitglieder müssen Deutschkenntnisse auf C1-Niveau nachweisen.
Wirtschaftliche Eignung
- Referenzen (Öffentlicher Sektor)BEWERTET
Mindestens drei vergleichbare Projekte in Bundes- oder Landesbehörden in den letzten 5 Jahren.
Gewichtung: 40%