LPCVD Cluster (TEOS/nitride/poly/oxidation) (IPMS-MRS06.1) - PR1121717-2480-P
Projektbeschreibung
LPCVD Cluster (TEOS/nitride/poly/oxidation) (IPMS-MRS06.1)
Lose
1 Los1 Stück - LPCVD Cluster Optionen: Option 1 - LV Pos. 2.3 - Wafer thickness for thick wafers Option 2 - LV Pos. 13.3 - The tool is covered by an extended warranty. Please provide information what is covered within this extended warranty (e.g. support, repair and part cost).
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Vergabeunterlagen
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OCDS Standard Konform Technische Kapazität
- ISO 27001 ZertifizierungPFLICHT
Nachweis eines zertifizierten ISMS für den gesamten Projektzeitraum.
Nachweis erforderlich - Projektteam (Deutsch C1)PFLICHT
Sämtliche Kernmitglieder müssen Deutschkenntnisse auf C1-Niveau nachweisen.
Wirtschaftliche Eignung
- Referenzen (Öffentlicher Sektor)BEWERTET
Mindestens drei vergleichbare Projekte in Bundes- oder Landesbehörden in den letzten 5 Jahren.
Gewichtung: 40%