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Projekt-ID: #040/2025

Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem

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19.03.26 Frist

Projektbeschreibung

Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem für die Synthese von Oxid, Oxinitrid und Nitrid Dünnfilmen

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1 Los

Gegenstand des Auftrags ist Lieferung und Installation (inkl. Training) eines reaktiven Magnetron Co-Sputter-Systems zur Herstellung von Oxid-, Oxinitrid- und Nitrid-Dünnfilmen mit kontrollierten Zusammensetzungen.

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