Automatisierte Beladeeinheit für Hochtemperaturofen

Das Institut für Solarenergieforschung GmbH (ISFH) wird seinen Anlagenpark für die Herstellung von Siliziumsolarzellen für Single Junction und Tandemanwendungen erneuern und eine automatisierte Beladeeinheit für einen Hochtemperaturofen anschaffen, der für Siliziumwafer mit einer Kantenlänge von 182 mm bis zu 230 mm prozeausgelegt ist. Die anzuschaffende Beladeeinheit soll einerseits ähnlich zu einer industriellen Massenproduktionsanlage z.B. in neuen TOPCon-Zellfabriken sein, andererseits möglichst flexibel einsetzbar sein, um den R&D Charakter eines Forschungsinstitutes abbilden zu können. Die Beladeeinheit dient der automatischen Beladung von sog. Glasbooten, die einem Hochtemperaturofen der Fa. Centrotherm International AG (c.LAB 3000) zugeführt werden. Lieferdatum ist spätestens Mai 2026. Das ISFH prozessiert Solarzellen typischerweise in Batchgrößen von 300 Wafern mit etwa 3 - 10 Batches pro Tag. Der Durchsatz der Anlage sollte mindestens 700 Wafer/h für G12 Waferformat betragen. Über Nacht und am Wochenende wird die Anlage abgeschaltet.