Aufruf zum Wettbewerb: Modernisierung Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)

Das Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe benötigt für die Modernisierung einer bestehenden Photoelektronenspektroskopie (XPS) - Anlage folgende Komponenten: eine neue monochromatische Al-Kα-Röntgenquelle, eine Ionenquelle zur Erstellung von Tiefenprofilen und zur Probenreinigung sowie eine Flood Gun zur Ladungskompensation bei Photoemissionsmessungen an isolierenden Proben. Folgende Spezifikationen müssen erfüllt werden: 1 Labor-Röntgenquelle für Photoelektronenspektroskopie 1.1 Monochromatische Al Kα-Röntgenquelle (1486,6 eV) für Photoelektronenspektroskopie 1.2 Die Geometrie der Quellen-Monochromator-Baugruppe muss mit der bestehenden sphärischen µ-Metall-Kammer der Photoelektronenspektroskopie-Anlage kompatibel sein, die einen DN63CF-Anschlussflansch mit einer 170 mm Portlänge für den Monochromator hat (Abstand vom Flansch zur Kammermitte = Analysatorfokus). 1.3 Variable Spotgröße an der Probenposition: von ≥ ca. 1 mm fokussierbar bis auf ≤ 0,2 mm für Messungen auch an kleinen Proben 1.4 Photonenlinienbreite von ≤ 0,25 eV 1.5 Photonenfluss > 1E+10 Photonen/s für großen Spot 1.6 Präzisionsmanipulatoren für die Einstellung des Monochromatorkristalls und ggf. die Ausrichtung der Quelle 1.7 Zusätzliche Pumpanschlüsse, um niedrige Drücke (UHV) in der Hauptkammer während der Messungen zu gewährleisten 1.8 Bewegliches Röntgenfenster mit hoher Transmission für differentielles Pumpen und zur Abschirmung der Monochromator-Kristalle z.B. während des Sputterns 1.9 Geschlossenes Wasserkühlsystem 2 Ionenquelle für die Erstellung von Tiefenprofilen und zur Probenreinigung 2.1 Extraktor-Ionenquelle mit fokussiertem, scanbaren Ionenstrahl hoher Stromdichte 2.2 Variable Strahlgröße mit einem Strahlfleck, der auf ≤ 200 µm an der Probenposition fokussiert werden kann 2.3 Scanbereich ≥ 10 mm x 10 mm, Korrektur für gekippte Proben 2.4 Energiebereich von mindestens 0,2 - 5 keV 2.5 Ionenstrom > 5 µA bei 5 kV für großen Spot 2.6 Geeignet für inerte und reaktive Gase 2.7 Kompatibel mit DN35CF/DN40CF Montageflansch und 180 mm Portlänge 2.8 Differentielles Pumpsystem zur Gewährleistung niedriger Arbeitsdrücke 2.9 Gaseinlasssystem zur genauen Regelung des Gasdrucks 3 Flood-Gun für Photoemissionsmessungen an isolierenden Proben 3.1 Flood-Gun zur Bestrahlung von Proben mit einem stabilen Strom niederenergetischer Elektronen, um Aufladungseffekte bei Photoemission auszugleichen 3.2 Energiebereich des Elektronenstrahls von mindestens 0-500 eV 3.3 Kompensationsstrombereich von mindestens 0-500 µA 3.4 Option zur automatischen Regelung des Emissionsstroms für stabile Elektronenströme 3.5 Homogene Stromdichten für eine effektive Ladungsneutralisation auf einer großen Probenfläche ≥ 10 mm x 10 mm 3.6 Arbeitsabstand ≥ 30 mm 3.7 Kompatibel mit DN35CF/DN40CF Anschlussflansch und 180 mm Portlänge Es handelt sich hier um eine Markterkundung mit dem Zweck, potentielle Anbieter für die geplante Modernisierung der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS) - Anlage zu finden.