Auswertetechnik Wafer-Prober

Gegenstand dieses Verfahrens ist eine elektrische Auswertetechnik für einen vollautomatischen 200-mm-Wafer-Prober, der für den Dauerbetrieb ausgelegt ist. Der verwendete Wafer Prober ist für die Charakterisierung von Geräten, die Prüfung der elektrischen Zuverlässigkeit und spezielle Produktionsanwendungen optimiert und ermöglicht präzise elektrische Messungen über extrem rauscharme, Gleichstrom-, HF-, mmW- und THz-Frequenzen. Auf diese Voraussetzungen muss die Auswertetechnik angepasst sein. Das System muss vollautomatisch arbeiten, um eine schnelle, genaue Datenerfassung mit minimalen Rauschpegeln zu gewährleisten, und Technologien für Messungen mit geringer Leckage und geringer Kapazität enthalten. Das Gesamtsystem mit automatisierten Wafer-Handhabungsoptionen und innovativen Automatisierungswerkzeugen muss eine hochpräzise Fehleranalyse, IV/CV-Messungen und HF-, mmW- und THz-Frequenztests ermöglichen und eine flexible Lösung für aktuelle und zukünftige Halbleiterbauelemente bieten. Diese Konfiguration muss für den kontinuierlichen, unterbrechungsfreien Betrieb in anspruchsvollen 24/7-Fertigungsumgebungen einsatzbereit sein.