PR1293607-2790-WVGV OUVERT
High Temperature 200 mm Ion Implanter
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| Lot | Prestation | Exécution |
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| LOT-0000 | High Temperature 200 mm Ion Implanter - PR1293607-2790-W High Temperature 200 mm Ion Implanter Optionen: 3.2.3 Ionenquelle Alternative Verfahren zur Implantation von Al mit anderen Methoden als der Verdampfung 5.7.2 Channeling-Implantation in SiC Messsystem zur Bestimmung der exakten Ausrichtung des SiC für die Channeling-Implantation 13.4 Wartungsvertrag Zweijähriger Wartungsvertrag mit zwei Optionen zur Verlängerung des Vertrags um jeweils ein Jahr. | — |
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