22.4-0242/062-26 GGVGV OTWARTY
Beschafft wird die Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage aus dem Baujahr 2007 am Institut für Halbleitertechnik der Technischen Universität Braunschweig.
Die Leistung umfasst ein Upgrade der Steuerungssoftware und SPS inklusive eines Embedded Industrial PC mit Windows 11, Fieldbus-I/O-Modulen über EtherCAT und DeviceNet sowie Schnittstellen für analoge und digitale Geräte.
Weiterhin sind eine Aufrüstung für zwei Hochtemperatur-Metallorganik-Quellenliefersysteme und eine Durchfluss-Flanschmodifikation für neue Rohrleitungs- und Heizanforderungen vorgesehen.
Wesentliche technische Anforderungen sind eine lebenslange Softwarelizenz für bis zu drei PCs, ein Verschlüsselungs-Dongle, Schaltzeiten zwischen 1 und 3 ms, ein Pyrometer-Regelkreis mit 3-Zonen-Regelung und die Möglichkeit zum automatischen Import bestehender EpiView-Rezepte.
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| Część | Przedmiot | Realizacja |
|---|---|---|
| LOT-0001 | Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage | — |
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